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蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組

簡(jiǎn)要描述:蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組用于實(shí)現(xiàn)低溫分離、液化純化 等關(guān)鍵步驟,不同氣體的物性差異導(dǎo)致所需溫度范圍差異顯著。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-01-07
  • 訪  問(wèn)  量:156

詳細(xì)介紹


蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組-江蘇康士捷機(jī)械設(shè)備有限公司設(shè)計(jì)生產(chǎn),型號(hào)齊全。



蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組用于

氣體類(lèi)型

用途

提純溫度范圍

高純硅烷(SiH?

CVD沉積、外延生長(zhǎng)

-80℃-120℃

六氟化鎢(WF?

金屬鎢沉積

-30℃-50℃

三氟化氮(NF?

等離子體清洗

-60℃-80℃

氯化物(HCl

刻蝕、外延

-85℃-100℃

八氟環(huán)丁烷(C?F?

介電材料刻蝕

-40℃-60℃













蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、極低溫型(-150℃~-80℃)、冷熱兩用型(-150℃~+300℃)等系列產(chǎn)品供貴司選用。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標(biāo)定做。溫度穩(wěn)定性±0.1℃等可選。



蘇州電子特氣提純復(fù)疊制冷機(jī)組多案例供參考。

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